第138章 世界上第一台紫外光刻机诞生了!

……

龙腾实验室。

“成功了!”

“成功了!”

“我终于把光刻机给搞了出来!”

龙腾看着眼前的这台光刻机,他一脸的喜悦!

经过一段时间的研发,他终于将光刻机的所有技术难关攻克,并且‘手搓’了这台光刻机!

虽然这台光刻机是他‘手搓’出来的。

但是,这台光刻机的性能,远远比GCA公司的DSW4800光刻机高了许多许多。

虽然GCA公司出品的DSW4800光刻机是这世界上第一款自动化步进投影式光刻机,也是这世界上第一款现代意义上的光刻机,后续的光刻机基本上都属于这种类型!

但是,DSW4800光刻机采用的光源是可见光光源,波长特别的长,波长范围在390纳米到780纳米之间。

虽然可见光的波长能够达到500纳米以下。

但是,DSW4800光刻机还没有办法将光刻精度做到500纳米以下。

DSW4800光刻机的光刻精度目前是600多纳米。

而龙腾这次研发出来的光刻机,采用的是高压汞灯产生的紫外光光源!

紫外光的波长比可见光的波长短了不少,波长范围在100纳米到400纳米之间。

所以,龙腾这次研发出来的光刻机,光刻精度做到了400纳米以下,只有惊人的365纳米!

这个时候,能够做到365纳米这个精度,已经是十分的了不起了!

众所周知,波长越短,光刻分辨率越高,制作出来的芯片体积就越小,单位面积的电路更加的复杂,芯片的性能也就越高。

龙腾这次研发出来的光刻机,应该是这世界上第一台紫外光刻机!

由于龙腾这次研究出来的光刻机,光刻精度比GCA公司出品的DSW4800光刻机,提升了将近一倍。

因此,龙腾研究出来的光刻机,可以生产制造出性能更高的芯片。